RTD Wafer温度传感器
RTD Wafer温度传感器
- 测温精度高：±0.05℃
- 测温范围：-40~250℃
- 测温点数：1-97点
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RTD Wafer温度传感器
产品介绍
RTD Wafer是使用特殊加工工艺 将测温传感器（RTD)镶嵌于晶圆表面特定位置，从而可实现晶圆表面温度实时测量的温度传感器。
通过RTD Wafer可获得晶圆特定位置的真实温度测量值以及整体晶 圆的温度分布情况；也可用于持续 监控在热处理制程中晶圆瞬态温度变化。
规格参数
序号 | 参数 | 内容 |
1 | 精度 | ±0.05℃ |
2 | 测温范围 | -40~250℃ |
3 | 温度分辨率 | 0.01℃ |
4 | 传感器类型 | PT |
5 | 测温点数 | 1~97 |
6 | 基底材质 | 硅/ 蓝宝石等 |
7 | 晶圆尺寸 | 2”，4”，6”，8”，12” |
8 | 通信 | 有线+无线 |
9 | 厚度 | 2~3.5mm |
10 | 使用寿命 | 6个月 |
11 | 校准寿命 | 6个月 |
12 | 使用环境 | 真空/大气/惰性气体/其他 |
软件界面
主要应用
前段刻蚀 Front Track Systems
静电卡盘（ESC）
加热板 Hot Plates
致冷盘 Cold Plates
光刻 HMDS Chambers
涂胶显影设备
生产周期
35天
如何选型
1.确定温度精度要求与尺寸
2.确定真度要求
3.确定点位数量与排布
4.确定引出线长度