RTD Wafer温度传感器

RTD Wafer是使用特殊加工工艺 将测温传感器（RTD)镶嵌于晶圆表面特定位置，从而可实现晶圆表面温度实时测量的温度传感器。
通过RTD Wafer可获得晶圆特定位置的真实温度测量值以及整体晶 圆的温度分布情况；也可用于持续 监控在热处理制程中晶圆瞬态温度变化。