RTD Wafer 无线温度传感器
RTD Wafer 无线温度传感器
- 12英才晶圆
- 测温点数：16点
- 测温范围：15-250℃
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RTD Wafer无线温度传感器
产品介绍
RTD Wafer 无线温度传感器是使用特殊加工工艺将测温传感器（RTD）镶嵌于晶圆表面特定位置，从而可实现晶圆表面温度实时测量的温度传感器。
通过RTD Wafer可获得晶圆特定位置的真实温度测量值以及整体晶圆的温度分布情况；也可用于持续监控在热处理制程中晶圆瞬态温度变化
规格参数
| 参数 | 内容 |
| Wafer 尺寸 | 12 英寸 |
| 基片 | 硅片晶圆 |
| 测温点数 | 16 点（分布方式请查看以下工程图） |
| 测温元器件 | RTD:PT1000 |
| 温度范围 | 15-250℃ (超过 100℃高温测试时间单次的测试持续时间 在 300 秒以内，80-100℃单次的测试持续时间在 1200 秒以内) |
| 充电一次测温时长 | 60 分钟 |
| 温度精度 | ±0.5℃ |
| 分辨率 | 0.01℃ |
| 数据传输方式 | 蓝牙无线传输 |
| Sampling | 1Hz/2Hz |
| 软件 | RTD Wafer 专用软件，实时曲线与 Wafer Mapping 云图 |
| 温度数据分析仪 | RTD Wafer 测温系统配套主机及显示装置 |
| Wafer Mapping 功能 | 具备动态 Mapping 功能 |
| 实时数据分析 | Max、Min、Mean、3-S、Range、分区 Range |
软件界面
主要应用
前段刻蚀 Front Track Systems
静电卡盘（ESC）
加热板 Hot Plates
致冷盘 Cold Plates
光刻 HMDS Chambers
涂胶显影设备
生产周期
35天
如何选型
1.确定温度精度要求与尺寸
2.确定真度要求
3.确定点位数量与排布