Rsuwei
无线晶圆温度测量系统(WL-WTMS)是在晶圆中嵌入了一个完整的测量系统,可以测量并记录蚀刻工艺环境对真实工艺条件下 生产晶圆的影响,无需有线连接。无线晶圆温度测量系统(WL-WTMS)通过测量与产品工艺接近条件下的温度数据,可以帮助工艺工程师完成调整蚀刻工艺条件,验证及匹配腔体、和PM后的验证等工作。
湿法清洗干法刻蚀
1.确定温度精度要求与尺寸2.确定使用环境,是否符合要求(目前8寸无线测温晶圆能在plasma和ESC的环境下使用)3.确定点位数量与排布