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可以。确定各线段L1L2L3的线长(主要 考虑TCWafer放置于Chamber里 的线长)
可以。我们提供柔性化服务满足客户需求。
不完全通用。主要考虑温度环境。例如TC-WaferR可达1200℃,On Wafer适用于100℃内。