AMS Wafer无线校准测量系统
AMS Wafer无线校准测量系统
- 测量类型: 水平角度 X,Y ±45°;加速度±2g ; 温度0℃-80℃; 湿度0%RH-100%RH
- 采样率: 10Hz
- 晶圆尺寸：12″
- 连接方式: 蓝牙连接
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产品介绍
AMS Wafer是使用特殊加工工艺将多个传感器模块集成到电路板上，能够快速测量震动、加速度、水平和湿度的一体式多功能量测工具，帮助提高半导体机台设备的调试效率。
代替晶圆在机械手等位置上进行传输过程的测量，测量传输过程中的加速度，还可以测量Chamber温度与湿度。
规格参数
| 项目 | 参数 | |
| 测量类型 | 加速度、位移、调平角度、湿度与温度 | |
| 采样率 | 标准100Hz/定制100-500Hz | |
| 测量范围 | 水平度 | X/Y轴 测量范围±45度 |
| 加速度 | X/Y/Z轴测量范围±4g | |
| RMS | X/Y/Z轴测量范围±4g | |
| 温度 | 0℃-80℃ | |
| 湿度 | 0%RH-100%RH | |
| 测量精度 | 水平度 | ±0.05度 |
| 加速度 | ±0.005g | |
| RMS | ±0.005g | |
| 温度 | 0.3℃～0.5℃ | |
| 湿度 | 2%～3% | |
| 连接方式 | 蓝牙连接 | |
| 尺寸 | 300mm (12”) | |
| 厚度 | 中心区域：6.6mm；边缘区域：0.8mm | |
| 重量 | 181g（12”） | |
| 单次充满电可用时长 | 可连续工作约2h | |
| 应用场景 | 晶圆传输检测、天车传输监测、AMHS晶圆搬运监测、温湿度检测 | |
软件界面
主要应用
晶圆传输检测
天车传输监测
AMHS晶圆搬运监测
温湿度检测