AMS Wafer无线振动校准测量系统
产品介绍
AMS Wafer是使用特殊加工工艺将多个传感器模块集成到电路板上，能够快速测量震动、加速度、水平和湿度的一体式多功能量测工具，帮助提高半导体机台设备的调试效率。
代替晶圆在机械手等位置上进行传输过程的测量，测量传输过程中的加速度，还可以测量Chamber温度与湿度。
规格参数
| 序号 | 参数 | 内容 |
| 1 | 测量类型 | 加速度、调平角度、湿度与温度 |
| 2 | 采样率 | 10Hz |
| 3 | 测量范围 | 水平角度 X,Y ±45°(精度± 0.05° ) 加速度±2g 温度0℃-80℃ (精度± 0.3℃ ) 湿度0%RH-100%RH (精度±2%RH) |
| 4 | 连接方式 | 蓝牙连接 |
| 5 | 大小 | 200mm、300mm (8”、12”) |
| 6 | 重量 | 约200g |
| 7 | 采集模式 | 连续采集5Hz |
软件界面
主要应用
代替晶圆在机械手等位置上进行传输过程的测量，测量传输过程中的加速度，还可以
测量Chamber温度与湿度，帮助提高半导体机台设备的调试效率、加快机台校准和装调的效率。
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常见问题
可以。确定各线段L1L2L3的线长（主要 考虑TCWafer放置于Chamber里 的线长）
可以。我们提供柔性化服务满足客户需求。
不完全通用。主要考虑温度环境。例如TC-WaferR可达1200℃，On Wafer适用于100℃内。
