关于我们
公司简介
苏州瑞晟微半导体科技有限公司是专注于晶圆测温系统，提供高精度晶圆测温及校准系统解决方案的高新技术企业。我们的使命是通过创新技术和卓越服务，引领未来。
自成立以来，苏州瑞晟微一直致力于2至12吋，研发和生产高品质的晶圆温度和校准测量系统。我们的团队由经验丰富的工程师、技术专家和专业销售人员组成，并与高校建立联合实验室，向核心技术研发制造深化发展，持续取得突破性进展。
苏州瑞晟微致力于推动国内半导体，晶圆温度及校准测量系统的国产化进程。
瑞晟微晶圆测温产品优势
精度高
瑞晟微晶圆测温系统具有高精度的温度测量能力，晶圆温度测量系统包含高精度温度传感器，能够实现晶圆整体温度监测，晶圆测温具有极高的温度测量精度，使用寿命更长，安全性更强。
测温准确
瑞晟微科技专注于高精度温测产品的研发和生产其产品能够精准地反映出晶圆的真实温度，进一步提升工艺技术可靠性和精确性，提升产品质量和性能指标。
强大的温场系统
瑞晟微晶圆测温系统拥有强大的温场系统，这使得其在半导体厂的生产工艺中，对许多高温工艺需要精准的温度控制，来达到晶圆薄膜厚度，应力等参数的要求。
高柔性定制服务
瑞晟微不仅专注于高精度温测产品的研发生产，还为客户提供了高柔性的定制服务，满足不同客户的特定需求。软件界面具有优秀的软件功能，可实时显示温度场剖面图及实时升温曲线图。
应用领域
TC Wafer
> 炉管
> PVD chamber
> CVD chamber
> RTP/rta chamber
> 去胶Strippers
> 真空回流炉
> ECP：oring（180℃-300℃）
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常见问题
可以。确定各线段L1L2L3的线长（主要 考虑TCWafer放置于Chamber里 的线长）
可以。我们提供柔性化服务满足客户需求。
不完全通用。主要考虑温度环境。例如TC-WaferR可达1200℃，On Wafer适用于100℃内。
