AVLS 无线校准测量晶圆
AVLS (Auto Vibration And Leveling Sensor) 无线校准测量晶圆
- 可收集和显示加速度、振动和水平数据。
- 底片材质: 硅片/碳纤维
- 采样率: 标准100Hz /定制200-500Hz
- 厚度: 中心区域：6.6mm；边缘区域：0.65mm ；定制厚度3.5mm
- AVLS专用软件
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Auto Vibration And Leveling Sensor 无线校准测量晶圆
产品介绍
AVLS 系统能够实时监测设备的振动情况，确保设备在最佳状态下运行，减少振动对生产过程的影响；可以自动检测设备的水平状态，确保设备在加工过程中始终保持正确的定位，提升工艺的一致性和精度。应用于晶圆载盒、FOUP、晶圆自动化搬运机械手、晶圆校准设备、装载锁、晶圆顶针、工艺腔底座、天车搬运系统、晶圆装载与检测集成装置SMIF。
规格参数
| AVLS无线校准测量晶圆系统 | ||
| 项目 | 参数 | |
| 测量类型 | X/Y/Z轴加速度、X/Y轴水平调平角度、RMS | |
| 底片材质 | 硅片/碳纤维 | |
| 采样率 | 标准100Hz /定制200-500Hz | |
| 测量范围 | 水平角度 | X,Y ±90°(精度± 0.03° ) |
| 加速度 | X,Y,Y ±4g （精度±0.005g） | |
| RMS | X,Y,Y ±4g （精度±0.005g） | |
| 连接方式 | 蓝牙连接 | |
| 大小 | 200mm、300mm (8”、12”) | |
| 重量 | 145g（8”）、181g（12”） | |
| 厚度 | 中心区域：6.6mm；边缘区域：0.65mm ；定制厚度3.5mm | |
| AVLS软件 | AVLS专用软件，实时显示加速度、调平角度、RMS界面 | |
| 配套主机 | AVLS系统配套主机 | |
| 应用场景 | 晶圆载盒、FOUP、晶圆自动化搬运机械手、晶圆校准设备、装载锁、晶圆顶针、工艺腔底座、天车搬运系统、晶圆装载与检测集成装置SMIF | |
主要应用
- 晶圆载盒
- FOUP
- 晶圆自动化搬运机械手
- 晶圆校准设备
- 装载锁
- 晶圆顶针
- 工艺腔底座
- 天车搬运系统
- 晶圆装载与检测集成装置SMIF