ALS SYSTEM 无线晶圆水平校准系统
ALS SYSTEM 无线晶圆水平校准系统
- 测量类型: X/Y轴水平调平角度
- 采样率: 标准100Hz /定制200Hz
- 尺寸：200mm, 300mm
- 底片材质: 硅片/碳纤维
请留言咨询价格：
ALS无线晶圆水平校准系统
产品介绍
晶圆传输自动平衡系统（Auto Leveling System）是一种专门设计用于半导体制造过程中的晶圆传输设备，以确保晶圆在传输过程中的水平稳定性和安全性，提高生产效率。
规格参数
| ALS无线晶圆水平校准系统 | ||
| 项目 | 参数 | |
| 测量类型 | X/Y轴水平调平角度 | |
| 底片材质 | 硅片/碳纤维 | |
| 采样率 | 标准100Hz /定制200Hz | |
| 测量范围 | 水平角度 | X,Y ±90°(精度± 0.01° ) |
| 连接方式 | 蓝牙连接 | |
| 大小 | 200mm、300mm (8”、12”) | |
| 重量 | 145g（8”）、181g（12”） | |
| 厚度 | 中心区域：6.6mm；边缘区域：0.65mm ；定制厚度3.5mm | |
| ALS软件 | ALS专用软件，实时显示倾斜度水平参数 | |
| 配套主机 | ALS系统配套主机 | |
| 应用场景 | 晶圆载盒、FOUP、晶圆自动化搬运机械手、晶圆校准设备、装载锁、晶圆顶针和工艺腔底座的倾斜度测量 | |
主要应用
- 晶圆载盒
- FOUP
- 晶圆自动化搬运机械手
- 晶圆校准设备
- 装载锁
- 晶圆顶针和工艺腔底座的倾斜度测量