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AMS Wafer是使用特殊加工工艺将多个传感器模块集成到电路板上,能够快速测量震动、加速度、水平和湿度的一体式多功能量测工具,帮助提高半导体机台设备的调试效率。代替晶圆在机械手等位置上进行传输过程的测量,测量传输过程中的加速度,还可以测量Chamber温度与湿度。
代替晶圆在机械手等位置上进行传输过程的测量,测量传输过程中的加速度,还可以测量Chamber温度与湿度,帮助提高半导体机台设备的调试效率、加快机台校准和装调的效率。
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可以。确定各线段L1L2L3的线长(主要 考虑TCWafer放置于Chamber里 的线长)
可以。我们提供柔性化服务满足客户需求。
不完全通用。主要考虑温度环境。例如TC-WaferR可达1200℃,On Wafer适用于100℃内。