TC Wafer温度传感器
TC Wafer温度传感器
产品介绍
TC Wafer是使用特殊加工工艺将耐高温传感器热电偶（Thermocouple）镶嵌于晶圆表面特定位置，从而可实现晶圆表面温度实时测量的温度传感器。
通过TC Wafer可获得晶圆特定位置的真实温度测量值以及整体晶圆的温度分布情况。
也可用于持续监控在热处理制程中晶圆瞬态温度变化，比如：升温，降温，恒温过程及延迟时间等。
规格参数
序号 | 参数 | 内容 |
1 | 精度 | ±1.1℃/0.4% |
2 | 测温范围 | RT~1200℃ |
3 | 传感器类型 | TC |
4 | 热电偶型号 | K Type（ I 级精度） |
5 | TC线径 | 0.127mm/0.254mm |
6 | 测温点数 | 1~34 |
7 | 基底材质 | 硅/ 蓝宝石等 |
8 | 晶圆尺寸 | 2”，4”，6”，8”，12” |
9 | 线长 | L1-腔体内部；L2-仓门过渡段；L3-腔体外部 |
10 | 使用寿命 | 3~6个月（视具体情况而定） |
10 | 校准寿命 | 6个月 |
11 | 使用环境 | 真空/大气/惰性气体/其他 |
软件界面
主要应用
炉管
匀胶显影机
PVD chamber
CVD chamber
RTP/rta chamber
去胶Strippers
PVD
真空回流炉
加热台
三温台
生产周期
35天
如何选型
1.确定温度范围及精度要求与尺寸（不同温度及精度对应的TC type）
2.确定真空度要求（主要考虑过渡 段L2在仓门处的宽度及厚薄）
3.确定测量点数量及分布（柔性客制化）
4.确定各线段L1、L2、L3的线长（主要考虑TCWafer放置于Chamber里的线长）
5.其他：插头型式
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常见问题
可以。确定各线段L1L2L3的线长（主要 考虑TCWafer放置于Chamber里 的线长）
可以。我们提供柔性化服务满足客户需求。
不完全通用。主要考虑温度环境。例如TC-WaferR可达1200℃，On Wafer适用于100℃内。
